宙讯微电子正式对外发布压电MEMS代工渠道

  代工渠道，渠道专心于压电MEMS范畴新器材的研制和量产服务。该压电MEMS渠道安身微纳加工技能前沿及、小基站、斗极等技能发展关于微纳加工的需求，现已建成集先进工艺开发、器材工艺制备及定制化开发量产为一体的综合性渠道，完成了新材料从微米到纳米级其他结构与器材的可控开发、加工与测验，可为客户供给个性化的工艺技能服务及器材解决方案。

  宙讯微电子压电MEMS工艺渠道具有声电器材、MEMS器材、微型扬声器及微型声学传感器等范畴抢先的工艺研制才能。

  本渠道作为国内抢先的射频滤波器SAW/BAW研制量产渠道，自2021年7月真实开端发动试运行以来，已累计为多家客户供给工艺开发或量产服务，累计开发产品50余款，出货量超2亿颗。本压电MEMS工艺渠道已取得ISO 9001质量体系认证，保证交给的产品到达高的质量水准。一起，本渠道具有完善的客户知识产权信息维护体系，使客户的商业秘要得到充沛维护。

  渠道根据工艺特色和功用需求，细分为光刻、薄膜堆积、薄膜刻蚀、CMP化学机械平整、晶圆测验、晶圆植球、晶圆划片切开、芯片倒装、塑封、编带测验等多项要害部分。每个部分都具有独立的加工功用，不只促进了加工水平的深入发展，并且经过严密的彼此相关和支撑，构成了一个贯穿的压电MEMS工艺研制与加工的全链条渠道。

  渠道设备选型满意6英寸全自动化晶圆量产需求，配备有全自动步进式曝光机、多种镀膜方式（电子束蒸发、掺钪AlN磁控溅射、化学气相堆积、薄膜修频体系）、多种刻蚀办法（金属ICP刻蚀、介质ICP刻蚀）以及多功用的表征设备，保证技能的先进性和产品的高质量。

  宙讯微电子压电MEMS工艺渠道是全球为数不多的专心于研制MEMS器材开发和量产的公共渠道，现在已为全球很多研讨团队的项目施行供给微纳加工技能服务和器材级全流程工艺整合开发。咱们与海内外多所高校、科研院所和高科技企业坚持长时间协作，活跃地推动工业技能服务，扩展与企业的产学研协作，使用渠道的设备、技能和人才资源优势，助力孵化项目和工业化进程。

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