长春光机所研发出国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台

  日前，中科院长春光机所旗下长春光华微电子设备工程中心有限公司（光华微电子）宣告研发成功国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台。

  光华微电子公司是中国科学院长春光学精密机械与物理研讨所机电工程研讨部于2002年转制而建立的一家高科技股份有限公司，近20年来专心于被迫电子元件和微电子设备的研发、出产，其根本的产品散布在晶片电阻出产设备、半导体出产设备、激光精密加工设备、精密机械产品等4个范畴。光华微电子的产品技能与质量处于国内领先水平，产品出口日本、韩国、泰国、菲律宾、马来西亚等国家，以及中国台湾、香港等区域，在国内有很多中资、台资、港资、美资和韩资企业用户，其间晶片电阻出产设备市场占有率达70%以上。

  本次研发成功的晶圆探针台产品，是半导体（包含集成电路、分立器材、光电器材、传感器）职业重要的检测配备之一，用于晶圆加工之后、封装工艺之前的晶圆测验环节，担任晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒顺次与探针触摸并逐一测验。通过检测，探针台将参数特性不符合规范要求的芯片记录下来，在进入后序工序前予以除掉，然后大幅度下降器材的制作本钱。晶圆针测进程技能应战极大，通常情况下探针数量在几千到几十万只，要求每只探针要对应一个微米量级的Pad盘，整一个完好的进程要在0.3秒内完结，然后再运转至下一个方位。

  光华微电子研发的国内第一款商业化12英寸全自动晶圆测验探针台，性能指标已达到或许挨近国际水平。全面推向市场后，可以下降晶圆测验厂收购及保护本钱，打破国际市场独占，对我国的半导体工业高质量开展发生非消沉效果。