中科飞测取得实用新型专利授权：“一种晶圆检测设备”

  证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现中科飞测（688361）新取得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆检测设备”，专利申请号为CN1.2，授权日为2024年3月1日。

  专利摘要：本实用新型揭露了一种晶圆检测设备，包含光学体系、体系大板、运动渠道和平整度调理组织，其间，运动渠道、平整度调理组织、体系大板和光学体系顺次层叠设置，平整度调理组织被装备为调理体系大板与运动渠道之间的间隔和视点。本实用新型的晶圆检测设备在使用时，经过调理平整度调理组织，以调理体系大板与运动渠道之间的间隔和视点，以此来完成光学体系物镜的聚集的调整，确保光学体系的焦面与运动渠道平行或许平行到必定规模。

  今年以来中科飞测新取得专利授权20个，较去年同期减少了4.76%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研制方面投入了9669.55万元，同比增10.64%。

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