台积电创始干式EUV光罩洁净技能累计节约超47亿元

  集微网音讯，据台媒报导，台积电导入干式极紫外光（EUV）光罩洁净技能，提高动力与资源运用功率，累计发明改进效益达新台币20亿元（约合人民币4.76亿元）。

  台积电立异研制的干式EUV光罩洁净技能从2018年开端导入试产，2019年开端逐渐开展干式EUV光罩洁净技能自动化，已于本年1月全面导入12英寸晶圆厂区量产。

  据了解，台积电立异研制干式EUV光罩洁净技能，经过干式技能快速去除落尘，替代需要用纯水与化学品的湿式清洁方法；一起以次纳米级剖析技能精准定位落尘来历，从底子扫除污染源，至2020年成功使落尘减少率超越99%，导入试产迄今累计节水量约735公吨，下降化学品运用量约36公吨。

  别的，干式洁净技能导入后大幅度缩短光罩保修频率与时刻，使光罩运用率跃升超越80%，并延伸先进制程EUV光罩寿数，累计发明的改进效益达20亿元。

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